มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการวิจัยฟิล์มเคลือบอุณหภูมิสูงต่างๆ เช่น ฟิล์มเซรามิก ฟิล์มคริสตัล ฟิล์มวัสดุแบตเตอรี่ และฟิล์มนาโนพิเศษ สามารถปรับให้เข้ากับการพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีสำหรับการสร้างฟิล์มภายใต้สภาวะที่มีอุณหภูมิสูงได้ในอนาคต
เครื่องเคลือบฟิล์มส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการเคลือบอิเล็กโทรดแบตเตอรี่ลิเธียมสำหรับการประกอบเซลล์เหรียญและการวิจัยเซลล์กระเป๋า