ระบบสุญญากาศพร้อมปั๊มสุญญากาศ VRD16 สำหรับระบบ CVD

I. ภาพรวม

ระบบ

(สามารถปั๊มสุญญากาศในเตาหลอมหลอดได้ถึง 0.6Pa) ประกอบด้วยหน้าแปลนดูด

(ทำเอง) ด้วยอินเทอร์เฟซ KF25 วิธีทำให้ยุ่งเหยิงสูญญากาศสูง สูญญากาศความต้านทาน

เกจ, เบลโลว์, ตัวยึด (ทำเอง), ปั๊มสุญญากาศ ต่อทีไปป์ที่

เต้าเสียบหน้าแปลนเชื่อมต่อซิลิโคนต้านทานกับปลายด้านหนึ่งของท่อสามทาง

ต่อวาล์วลูกไก่สูญญากาศสูงเข้ากับปลายอีกด้าน ต่อลูกนก

วาล์วและปั๊มสุญญากาศที่มีลอนของ Dia25 และใช้ KF25 quick

แคลมป์สำหรับพอร์ตเชื่อมต่อ .

2. ระบบตรวจจับแรงดัน

ความต้านทานเดี่ยวประเภท ZDR-I/ZDR-I-LED

เกจวัดสูญญากาศ

เกจวัดสูญญากาศความต้านทาน

(เรียกอีกอย่างว่าเกจสุญญากาศ Pirani) ใช้ ZJ-52T . ที่มีความเสถียรเป็นพิเศษ

มาตรวัดความต้านทานและใช้โหมดการทำงานอุณหภูมิคงที่ใหม่กับ

พลังงานคงที่ ในขณะเดียวกันก็ใช้ไมโครโปรเซสเซอร์เพื่อควบคุม

ความไม่เป็นเชิงเส้นของระเบียบ การประมวลผลเชิงเส้น มีลักษณะเฉพาะ

ประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียร ช่วงการวัดกว้าง การตอบสนองที่รวดเร็ว และการดริฟท์เพียงเล็กน้อย และ

การควบคุมรีเลย์ที่ใช้ไมโครโปรเซสเซอร์ที่ทรงพลังและเชื่อถือได้ การสื่อสารแบบอนุกรม

เอาต์พุต, เอาต์พุตอะนาล็อกสูญญากาศและฟังก์ชั่นอื่นๆ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับ

การวัดและควบคุมการใช้สุญญากาศแบบหยาบและต่ำ

พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

*

ระเบียบการกระจาย: เกจวัดความต้านทาน ZJ-52T

*

ช่วงการวัด: 10 5～10 -1 Pa

*

การแยกแสง การกรองแบบดิจิตอล ความสามารถในการป้องกันการรบกวนที่เพิ่มขึ้น

*