ระบบ ระบบจ่ายแก๊ส และระบบจ่ายไฟความถี่วิทยุ ส่วนใหญ่

ใช้สำหรับ: การเจริญเติบโตของฟิล์มโลหะบาง, ฟิล์มเซรามิกบาง, ฟิล์มคอมโพสิตบาง,

กราฟีน ฯลฯ ง่ายต่อการเพิ่มฟังก์ชัน และสามารถขยายฟังก์ชันเช่น

การทำความสะอาดพลาสม่าและการแกะสลัก ระบบ PECVD มีข้อดีของฟิล์มสูง

อัตราการสะสม ความสม่ำเสมอที่ดี ความสม่ำเสมอและความมั่นคงสูง

รายละเอียดทางเทคนิค

พารามิเตอร์

แบบอย่าง

TL1600-I

พลัง

5KW

ขนาดท่อ (OD) (มม.)

หลอดคอรันดัมความบริสุทธิ์สูง: 60 มม. (เส้นผ่านศูนย์กลางท่อ)

ปลั๊กเตาสองอันวางอยู่แต่ละด้าน ดิ

ปลั๊กเตาสามารถปิดกั้นการแผ่รังสีความร้อนที่อยู่ตรงกลางของท่อเตาเผา

และต้องวางในตำแหน่งที่ถูกต้องในเตาเผาก่อนให้ความร้อน

มิติ

1120X490X855

แรงดันไฟ

220V

เฟส

เฟสเดียว

องค์ประกอบความร้อน

แท่งโมลิบดีนัมซิลิกอนรุ่น 1800

ประเภทควบคุมอุณหภูมิ

ใช้

เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม Yudian (มาตรฐาน)

1.

โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ส่วน การปรับ PID อัจฉริยะ

2.

ด้วยการป้องกันอุณหภูมิเกิน วงจรความร้อนของเตาไฟฟ้าจะ

จะถูกตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิสูงเกินไปหรือเมื่อ

คู่รักแตก ON, ไฟบนแผงปิด, ไฟ OFF ติด,

และเตาไฟฟ้ามีการป้องกันอย่างจำกัด)

3.

ด้วยอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐานพร้อมซอฟต์แวร์เสริม)

4.

มีฟังก์ชันป้องกันไฟฟ้าขัดข้อง กล่าวคือ เมื่อเตาหลอมเป็น

เปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่อง โปรแกรมไม่เริ่มทำงานจาก

อุณหภูมิเริ่มต้น แต่เริ่มต้นจากอุณหภูมิเตาหลอมเมื่อกำลังไฟ

ปิด.

5.The

มิเตอร์มีฟังก์ชั่นปรับอุณหภูมิเองได้

(คุณต้องจ่ายเพิ่มสำหรับการเปลี่ยนสินค้านำเข้า

เครื่องมือเสริม)

เครื่องมือ FP93                             เครื่องมือ EUROTHERM                       หน้าจอสัมผัส

เครื่องดนตรี

(ชิมาเดน ประเทศญี่ปุ่น)

วัสดุห้อง

1. วัสดุเตาทำจากคุณภาพสูง

เส้นใยอลูมินาโพลีคริสตัลไลน์

2. พื้นผิวของเตาด้านในเคลือบด้วย

นำเข้าเคลือบอลูมินาอุณหภูมิสูง 1800 องศาซึ่งสามารถเพิ่ม

emissivity และทำให้สนามอุณหภูมิมีความสมดุลมากขึ้น

วาล์วและครีบ

ควบคุมความแม่นยำ

หน้าจอดิจิตอล

รับเลี้ยง

ปั๊มสุญญากาศ VRD16

VRD16

ศัพท์เทคนิค

ข้อมูลจำเพาะ

VRD-16

ความเร็วสูบน้ำ ลบ.ม./ชม. (L/s)

กำลังมอเตอร์ (KW)

0.75 กิโลวัตต์/0.55 กิโลวัตต์

การเชื่อมต่อขาเข้า/ขาออกDN

KF25

ใช้ตัวควบคุมการไหล โปรดดูที่ด้านหลัง