ระบบแล็บ CVD พร้อมเตาโรตารี่โซนคู่ 1500-1500C

Sales ระบบแล็บ CVD พร้อมเตาโรตารี่โซนคู่ 1500-1500C

ผู้จัดการฝ่ายขาย:อันเดรีย

อีเมล: Andrea@tmaxlaboratory.com

วีแชท: 18250801164

  • :
  • :

รายละเอียดผลิตภัณฑ์  

ระบบแล็บ CVD พร้อมเตาโรตารี่โซนคู่ 1500-1500C

ระบบ CVD ประกอบด้วยระบบจ่ายแก๊ส + เตาหลอด + ระบบสูญญากาศ และอุณหภูมิสูงสุดสามารถเข้าถึง 1200 องศา, 1400 องศา, 1600 องศา และ 1700 องศา โซนความร้อนสามารถเป็นโซนอุณหภูมิเดียว โซนอุณหภูมิคู่ สามโซนอุณหภูมิ ฯลฯ สูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง 10-3Pa ระบบจ่ายก๊าซสามารถเป็นเครื่องวัดการไหลของมวลหรือโฟลว์มิเตอร์แบบลอยตัวเพื่อควบคุมการไหล จำนวนช่องผสมได้ 2 ช่อง 3 ช่อง 4 ช่อง 5 ช่อง


พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด

แบบอย่าง

1500-1500-I                                                     1500-1500-II

พลัง

9KW                                                                   9KW

หลอด

ขนาด

Dia

60(OD) X1400 mm                                     Dia 80(OD) X1400 mm

จัดหา

แรงดันไฟฟ้า

380V                                                                       380V

เฟส

สองเฟส                                                              สองเฟส

หลอด

ท่อคอรันดัม: ความบริสุทธิ์สูง AIO

เซรามิกส์ (รวม) 99.5%

เครื่องทำความร้อน

ธาตุ

อันดับแรก

โซนอุณหภูมิ:แท่งคาร์บอนซิลิคอน                     โซนอุณหภูมิที่สอง: แท่งคาร์บอนซิลิคอน

ความเร็วในการหมุนของท่อเตา

ด้วยมอเตอร์ปรับความเร็วรอบแบบ stepless

ความเร็วสามารถปรับได้ระหว่าง (1-25 รอบต่อนาที)

กำลังมอเตอร์

40W

เตาสามารถเอียงเป็นมุม

0-30 องศา

ชนิดของไดรฟ์

สายพานฟันเฟืองและเกียร์

ควบคุม

โหมด

เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม UAV

(มาตรฐาน)


1, โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ขั้นตอน

การปรับ PID อัจฉริยะ

2. ด้วยการป้องกันอุณหภูมิเกิน ไฟฟ้า

วงจรความร้อนของเตาจะตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิอยู่ที่

อุณหภูมิสูงเกินไปหรือแตก (เมื่ออุณหภูมิเตาไฟฟ้าเกิน

1520 องศาหรือเทอร์โมคัปเปิลถูกเป่า, รีเลย์ AC บนวงจรหลัก

จะถูกตัดการเชื่อมต่อโดยอัตโนมัติ วงจรหลักจะขาด บน ON

ไฟบนแผงควบคุมดับ ไฟ OFF ติดสว่าง และการป้องกันแบบจำกัด

เตาไฟฟ้า)

3 พร้อมอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐาน

เมื่อซื้อซอฟต์แวร์)

4 พร้อมฟังก์ชั่นป้องกันการปิดเครื่องที่

คือ เมื่อเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่อง โปรแกรม

ไม่ได้เริ่มจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่เป็นอุณหภูมิเตาหลอม

เพิ่มขึ้นจากเวลาที่ไฟฟ้าดับ

5, มิเตอร์มีฟังก์ชั่นการปรับอุณหภูมิเอง

(คุณต้องจ่ายเงินเพิ่มสำหรับการทดแทน

ของเครื่องมือนำเข้า ไม่จำเป็น)

เครื่องมือ FP93

เครื่องมือ EUROTHERM

หน้าจอสัมผัส

เครื่องดนตรี

(ชิมาเดน ประเทศญี่ปุ่น)



วัสดุเตา

1. โพลีคริสตัลลีนอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงคุณภาพสูง

เตาบ่มไฟเบอร์ที่เกิดขึ้นจากการกรองสูญญากาศ

2. นำเทคโนโลยีของญี่ปุ่นมาใช้ในการขึ้นรูป

ควบคุม

ความแม่นยำ

+/- 1℃

สิ่งกระตุ้น

เฟสกะ

สิ่งกระตุ้น

ไฟฟ้า

เครื่องใช้

เจ้อเจียง

ผ้าลาย

ซิลิคอน

ควบคุม

106/16ESEMIKRON

ดิ

อุณหภูมิสูงสุดในเขตอุณหภูมิที่หนึ่งและสอง

1500℃

เรท

อุณหภูมิในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและที่สอง

1400℃

เครื่องทำความร้อน

ประเมินค่า

≤20℃ / นาที (สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามต้องการ)

ที่แนะนำ

อัตราการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิ

≤10℃ / นาที

เทอร์โมคัปเปิล

S พิมพ์คนแรก

เขตอุณหภูมิ

พิมพ์ภูมิภาคอุณหภูมิที่สอง

ความยาว

ของส่วนทำความร้อนในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและที่สอง

300+300มม.                                             300+300มม.

ความยาวอุณหภูมิคงที่

450 มม.                                                        450 มม.

Gx-3 ช่องจ่ายอากาศสามช่อง (ผสม

อากาศ) ระบบ

1.1. ก๊าซออกจากกระบอกสูบคือ

ลดแรงดันผ่านวาล์วลดแรงดัน ผ่านท่อ PTFE

ไปยังทางเข้าของระบบจ่ายก๊าซแล้วผ่านการไหลของมวล




มิเตอร์ควบคุมการไหลของก๊าซแล้วผ่านถังผสมก๊าซและ

แล้วเข้าสู่ทางเข้าเตาหลอม

1.2.

2)


เกจวัดแรงดันติดอยู่กับถังผสมก๊าซและเกจวัดแรงดัน

ดิสก์แสดงผลและตัวควบคุมโปรตอนโฟลว์มิเตอร์ติดตั้งอยู่บนเครื่องเดียวกัน

แผงหน้าปัด.

1.3.

ท่อส่งก๊าซแต่ละสายมีวาล์วปิดแรงดันสูงเพื่อความปลอดภัย

1.4.

เส้นทางก๊าซใช้เครื่องวัดมวลก๊าซที่มีความแม่นยำสูงและด้านในของ

ท่อส่งก๊าซทำจากท่อสแตนเลสทั้งหมดซึ่งมีการกัดกร่อนที่ดี

ความต้านทาน.

1.5.

ข้อต่อทั้งหมดในกล่องเชื่อมต่อด้วยปลอกโลหะสแตนเลสซึ่งมี

ความหนาแน่นของอากาศที่ดีและทนต่อแรงดันสูง

2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

ช่องลม: 3

การควบคุมการไหลของแก๊ส:

เครื่องวัดการไหลของมวล

ขนาดตู้:

600X600X600mm

เครื่องวัดการไหลของมวล

พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

อินเทอร์เฟซ: Φ6

จอแสดงผล: LED

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน: 5 ~ 45 °C

ตัวควบคุมการไหล:

พารามิเตอร์ตัวควบคุมการไหลของโปรตอน โปรดตรวจสอบอีกครั้ง

ท่อเหล็กสแตนเลส:

Φ6 นอก X Φ4

แรงดันสุญญากาศ

ตาราง: -0.1~0.15 MPa, 0.01

MPa/ดิวิชั่น

วาล์วหยุด: Φ6

การควบคุมการไหล: PLC

การควบคุมที่ชาญฉลาด

功率

3. เครื่องวัดการไหลของมวล

电压

พารามิเตอร์ทางเทคนิค:

转速

ผลิตภัณฑ์

ชื่อ: Mass Flow Controller

ผลิตภัณฑ์

Description : ชนิดธรรมดา วงจรแอนะล็อก

6

ผลิตภัณฑ์

รายละเอียด : วงจรแอนะล็อก ธรรมดา ซีลยาง ปัดท่อไม่ง่าย

บล็อก.

หลัก

ตัวชี้วัด: ช่วง: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10

SLM (คุณสามารถเลือกช่วงโดยพลการ)

ความแม่นยำ: ±1% FS

เชิงเส้น: 0.5% FS

ความสามารถในการทำซ้ำได้: ±0.2% F.S

เวลาตอบสนอง: 1S

แรงดันอากาศตก: <0.01MPa

แรงดันสูงสุด: 3MP

อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน: 5~45°C

สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต: 0~+5.00V

กำลังไฟ: +15V 50mA -15V 50mA

PECVD




Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



ขนาด: 158*30*110

น้ำหนัก: 0.9 Kgg



Tags :
Leave A Message
If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.
SUPPLIER
1458
X

Home

Supplier

Leave a message

Leave a message

If you are interested in our products and want to know more details,please leave a message here,we will reply you as soon as we can.