ผู้จัดการฝ่ายขาย:อันเดรีย
อีเมล: Andrea@tmaxlaboratory.com
วีแชท: 18250801164
ระบบแล็บ CVD พร้อมเตาโรตารี่โซนคู่ 1500-1500C
ระบบ CVD ประกอบด้วยระบบจ่ายแก๊ส + เตาหลอด + ระบบสูญญากาศ และอุณหภูมิสูงสุดสามารถเข้าถึง 1200 องศา, 1400 องศา, 1600 องศา และ 1700 องศา โซนความร้อนสามารถเป็นโซนอุณหภูมิเดียว โซนอุณหภูมิคู่ สามโซนอุณหภูมิ ฯลฯ สูญญากาศสูงสุดสามารถเข้าถึง 10-3Pa ระบบจ่ายก๊าซสามารถเป็นเครื่องวัดการไหลของมวลหรือโฟลว์มิเตอร์แบบลอยตัวเพื่อควบคุมการไหล จำนวนช่องผสมได้ 2 ช่อง 3 ช่อง 4 ช่อง 5 ช่อง
พารามิเตอร์ทางเทคนิคโดยละเอียด
แบบอย่าง | 1500-1500-I 1500-1500-II |
พลัง | 9KW 9KW |
หลอด | ขนาด |
Dia | 60(OD) X1400 mm Dia 80(OD) X1400 mm |
จัดหา | แรงดันไฟฟ้า |
380V 380V | เฟส |
สองเฟส สองเฟส | หลอด |
ท่อคอรันดัม: ความบริสุทธิ์สูง AIO | เซรามิกส์ (รวม) 99.5% |
เครื่องทำความร้อน | ธาตุ |
อันดับแรก | โซนอุณหภูมิ:แท่งคาร์บอนซิลิคอน โซนอุณหภูมิที่สอง: แท่งคาร์บอนซิลิคอน |
ความเร็วในการหมุนของท่อเตา | ด้วยมอเตอร์ปรับความเร็วรอบแบบ stepless |
ความเร็วสามารถปรับได้ระหว่าง (1-25 รอบต่อนาที) | กำลังมอเตอร์ 40W เตาสามารถเอียงเป็นมุม 0-30 องศา ชนิดของไดรฟ์ สายพานฟันเฟืองและเกียร์ ควบคุม โหมด เครื่องมือควบคุมอุณหภูมิโปรแกรม UAV |
(มาตรฐาน) | 1, โปรแกรมควบคุมอุณหภูมิ 30 ขั้นตอน การปรับ PID อัจฉริยะ |
2. ด้วยการป้องกันอุณหภูมิเกิน ไฟฟ้า | วงจรความร้อนของเตาจะตัดโดยอัตโนมัติเมื่ออุณหภูมิอยู่ที่ |
อุณหภูมิสูงเกินไปหรือแตก (เมื่ออุณหภูมิเตาไฟฟ้าเกิน | 1520 องศาหรือเทอร์โมคัปเปิลถูกเป่า, รีเลย์ AC บนวงจรหลัก |
จะถูกตัดการเชื่อมต่อโดยอัตโนมัติ วงจรหลักจะขาด บน ON | ไฟบนแผงควบคุมดับ ไฟ OFF ติดสว่าง และการป้องกันแบบจำกัด |
เตาไฟฟ้า) | 3 พร้อมอินเทอร์เฟซการสื่อสาร 485 (มาตรฐาน |
เมื่อซื้อซอฟต์แวร์) | 4 พร้อมฟังก์ชั่นป้องกันการปิดเครื่องที่ |
คือ เมื่อเปิดเครื่องหลังจากปิดเครื่อง โปรแกรม | ไม่ได้เริ่มจากอุณหภูมิเริ่มต้น แต่เป็นอุณหภูมิเตาหลอม |
เพิ่มขึ้นจากเวลาที่ไฟฟ้าดับ | 5, มิเตอร์มีฟังก์ชั่นการปรับอุณหภูมิเอง |
(คุณต้องจ่ายเงินเพิ่มสำหรับการทดแทน | ของเครื่องมือนำเข้า ไม่จำเป็น) |
เครื่องมือ FP93 |
|
เครื่องมือ EUROTHERM | หน้าจอสัมผัส |
เครื่องดนตรี | (ชิมาเดน ประเทศญี่ปุ่น) |
วัสดุเตา
1. โพลีคริสตัลลีนอลูมินาที่มีความบริสุทธิ์สูงคุณภาพสูง
เตาบ่มไฟเบอร์ที่เกิดขึ้นจากการกรองสูญญากาศ
2. นำเทคโนโลยีของญี่ปุ่นมาใช้ในการขึ้นรูป
ควบคุม
ความแม่นยำ
+/- 1℃
สิ่งกระตุ้น
เฟสกะ
สิ่งกระตุ้น
ไฟฟ้า
เครื่องใช้
เจ้อเจียง
ผ้าลาย
ซิลิคอน
ควบคุม
106/16ESEMIKRON
ดิ
อุณหภูมิสูงสุดในเขตอุณหภูมิที่หนึ่งและสอง
1500℃
เรท
อุณหภูมิในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและที่สอง
1400℃
เครื่องทำความร้อน
ประเมินค่า
≤20℃ / นาที (สามารถปรับเปลี่ยนได้ตามต้องการ)
ที่แนะนำ
อัตราการเพิ่มขึ้นของอุณหภูมิ
≤10℃ / นาที
เทอร์โมคัปเปิล
S พิมพ์คนแรก
เขตอุณหภูมิ
ส
พิมพ์ภูมิภาคอุณหภูมิที่สอง
ความยาว
ของส่วนทำความร้อนในโซนอุณหภูมิที่หนึ่งและที่สอง
300+300มม. 300+300มม.
ความยาวอุณหภูมิคงที่
450 มม. 450 มม.
Gx-3 ช่องจ่ายอากาศสามช่อง (ผสม
อากาศ) ระบบ
1.1. ก๊าซออกจากกระบอกสูบคือ
ลดแรงดันผ่านวาล์วลดแรงดัน ผ่านท่อ PTFE
ไปยังทางเข้าของระบบจ่ายก๊าซแล้วผ่านการไหลของมวลมิเตอร์ควบคุมการไหลของก๊าซแล้วผ่านถังผสมก๊าซและ
แล้วเข้าสู่ทางเข้าเตาหลอม 1.2. 2) | เกจวัดแรงดันติดอยู่กับถังผสมก๊าซและเกจวัดแรงดัน | ดิสก์แสดงผลและตัวควบคุมโปรตอนโฟลว์มิเตอร์ติดตั้งอยู่บนเครื่องเดียวกัน | |
แผงหน้าปัด. | 1.3. | ||
ท่อส่งก๊าซแต่ละสายมีวาล์วปิดแรงดันสูงเพื่อความปลอดภัย | 1.4. | ||
เส้นทางก๊าซใช้เครื่องวัดมวลก๊าซที่มีความแม่นยำสูงและด้านในของ | ท่อส่งก๊าซทำจากท่อสแตนเลสทั้งหมดซึ่งมีการกัดกร่อนที่ดี | ||
ความต้านทาน. 1.5. | ข้อต่อทั้งหมดในกล่องเชื่อมต่อด้วยปลอกโลหะสแตนเลสซึ่งมี | ความหนาแน่นของอากาศที่ดีและทนต่อแรงดันสูง | |
2. พารามิเตอร์ทางเทคนิค: | ช่องลม: 3 | ||
การควบคุมการไหลของแก๊ส: | เครื่องวัดการไหลของมวล | ||
ขนาดตู้: | 600X600X600mm | ||
เครื่องวัดการไหลของมวล | พารามิเตอร์ทางเทคนิค: | ||
อินเทอร์เฟซ: Φ6 | จอแสดงผล: LED | ||
อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน: 5 ~ 45 °C | ตัวควบคุมการไหล: | ||
พารามิเตอร์ตัวควบคุมการไหลของโปรตอน โปรดตรวจสอบอีกครั้ง | ท่อเหล็กสแตนเลส: | ||
Φ6 นอก X Φ4 | แรงดันสุญญากาศ | ||
ตาราง: -0.1~0.15 MPa, 0.01 | MPa/ดิวิชั่น | ||
วาล์วหยุด: Φ6 การควบคุมการไหล: PLC การควบคุมที่ชาญฉลาด | 功率 | 3. เครื่องวัดการไหลของมวล | |
电压 | พารามิเตอร์ทางเทคนิค: | ||
转速 | ผลิตภัณฑ์ | ||
ชื่อ: Mass Flow Controller | ผลิตภัณฑ์ | ||
Description : ชนิดธรรมดา วงจรแอนะล็อก | 6 | ||
ผลิตภัณฑ์ | รายละเอียด : วงจรแอนะล็อก ธรรมดา ซีลยาง ปัดท่อไม่ง่าย | ||
บล็อก. หลัก | ตัวชี้วัด: ช่วง: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 | SLM (คุณสามารถเลือกช่วงโดยพลการ) | |
• | ความแม่นยำ: ±1% FS | ||
• | เชิงเส้น: 0.5% FS | ||
• | ความสามารถในการทำซ้ำได้: ±0.2% F.S | ||
• | เวลาตอบสนอง: 1S | ||
• | แรงดันอากาศตก: <0.01MPa | ||
• | แรงดันสูงสุด: 3MP | • | |
อุณหภูมิแวดล้อมในการทำงาน: 5~45°C | • | ||
สัญญาณอินพุตและเอาต์พุต: 0~+5.00V | • | ||
กำลังไฟ: +15V 50mA -15V 50mA | • |
ขนาด: 158*30*110
•
น้ำหนัก: 0.9 Kgg